奧林巴斯(Olympus)半導(dǎo)體與平板顯示器檢測顯微鏡MX63/MX63L:
讓您的大尺寸樣品檢測流程更加順暢
MX63和MX63L顯微鏡系統(tǒng)經(jīng)過優(yōu)化，適用于Z大尺寸300 mm的晶圓、平板顯示器、電路板以及其他大尺寸樣品的***檢測。其采用的模塊化設(shè)計使您能夠選擇需要的組件，獲得根據(jù)應(yīng)用定制的系統(tǒng)。
這兩款符合人體工學(xué)設(shè)計且人性化的顯微鏡有助于在提高工作效率的同時，保持檢測員的工作舒適性。與PRECiV圖像分析軟件結(jié)合使用時，可以簡化從觀察到報告創(chuàng)建的整個工作流程。
多功能
設(shè)計滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和**性要求，并以更多功能提高分析能力。
人性化
簡化的顯微鏡設(shè)置使用戶可以更輕松地進(jìn)行系統(tǒng)設(shè)置的調(diào)整和重現(xiàn)。
成像技術(shù)
成熟可靠的光學(xué)器件和成像技術(shù)可提供清晰的圖像和可靠的檢測。
模塊化
用戶可以使用適合其應(yīng)用的組件進(jìn)行系統(tǒng)定制。
應(yīng)用圖像庫
圖像管理功能可為您呈現(xiàn)您真正想要觀察的內(nèi)容。
MX63系列旨在使客戶能夠選擇各種光學(xué)組件，以滿足其特定的檢測和應(yīng)用需求。該系統(tǒng)可使用所有觀察方法。用戶還可以從各種PRECiV圖像分析軟件包中進(jìn)行選擇，以滿足其特定的圖像采集和分析需求。
兩個系統(tǒng)兼容多種樣品規(guī)格
MX63系統(tǒng)可處理尺寸達(dá)200 mm的晶圓，而MX63L系統(tǒng)可以處理尺寸達(dá)300 mm的晶圓，但占地面積卻與MX63系統(tǒng)一樣小。模塊化設(shè)計便于您根據(jù)自身的特定需求定制顯微鏡。
紅外兼容性
紅外觀察可以使用紅外物鏡進(jìn)行，該物鏡利用硅透射紅外光的特性，使操作員能夠?qū)Ψ庋b和安裝在印刷電路板上的集成電路芯片內(nèi)部進(jìn)行無損檢測。5倍至100倍紅外物鏡可實現(xiàn)從可見光波長到近紅外波長的色差校正。特別是對于20倍或更高倍率的物鏡，可通過校正環(huán)對覆蓋在觀察對象上的硅層引起的像差進(jìn)行校正，從而獲得清晰的圖像。
奧林巴斯(Olympus)半導(dǎo)體與平板顯示器檢測顯微鏡MX63/MX63L技術(shù)規(guī)格：
|
MX63 |
MX63L |
||
|
光學(xué)系統(tǒng) |
UIS2光學(xué)系統(tǒng)（無限遠(yuǎn)校正系統(tǒng)） |
||
|
顯微鏡鏡架 |
反射光照明 |
白光LED（帶光強(qiáng)度管理器）12 V 100 W鹵素?zé)簦?/span>100W汞燈，光導(dǎo) |
|
|
透射光照明 |
透射光照明裝置：需使用MX-TILA或MX-TILLB。 |
||
|
對焦 |
行程：32 mm |
||
|
Z大載荷重量（包括載物臺和支架） |
8 kg |
15 kg |
|
|
觀察筒 |
寬視場（FN 22 mm） |
正像三目鏡筒：U-ETR4 |
|
|
*寬視場（FN 26.5 mm） |
正像可調(diào)傾角三目鏡筒：MX-SWETTR（光程切換**** [目鏡]：0 [相機(jī)] 或0：****） |
||
|
電動物鏡轉(zhuǎn)換器 |
明場
明場和暗場 |
||
|
載物臺（X x Y） |
帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC8R
帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC6R2 |
帶內(nèi)置離合驅(qū)動的同軸右手柄：MX-SIC1412R2 |
|
|
重量 |
約35.6kg（顯微鏡鏡架26kg） |
約44kg（顯微鏡鏡架28.5kg） |
|
